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半導体製造

Technological innovation rooted in people's lives

人々の生活に根ざした技術革新を

現代の小型高性能な電子機器を支える半導体集積回路(LSI)、そのごく微細な回路を描くのはレンズを通じた「ヒカリ」です。
ナノレベルの微細なものづくりを可能にする半導体製造装置に採用される夏目光学のレンズは加工する際2つの両立は難しいと言われている、特殊な面形状をもったガラス素子の造成、光を損失なく透過させるための表面を美しく研磨すること。 夏目光学ではこの2つを同時に高いレベルで行うことができます。

これは夏目光学が長年蓄積してきた加工のノウハウと、粘り強く開発を続けてきた技術力があってこそであり、時代の最先端を行く技術の礎を夏目光学は担っています。



Our products of semiconductors

夏目光学の製品

私たちは半導体製造の分野において、以下のオプティクス開発を行っております。

  • 露光装置用アライメント用光学部品
  • 露光装置用輪帯照明用光学
  • 露光装置用ビーム整形用部品
  • ウェハ欠陥検査装置用照明
  • マスク欠陥検査装置用照明



半導体製造関連光学素子
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