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透過波面計測

レーザー干渉計(Verifire ATZ)を用いたダブルパス測定によって、透過波面精度を評価します。単レンズから複数レンズのユニット品まで計測可能です。また、計測データ補正計算により使用環境での波長に合わせた波面評価を行うことも可能です。

 

レーザー干渉計(VeriFire ATZ : Zygo)+ 6軸可動システム

計測原器:λ/20 以下 測定再現性:λ/300 以下
測定分解能:λ/8000 以下  

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4枚構成UV集光光学系ユニット実績
透過波面精度 RMS 0.092λ≒λ/10 (UV波長換算)
計測波長633nmで透過波面精度を計測し、 使用波長に換算して評価をします。
 
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