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夏目光学

品質保証

面精度計測

面精度計測

レーザー干渉計にZygo社の6インチVFA(VeriFire Asphere)を使用し、λ/40を保証します。(平面:3面合せ法、球面:二球面法を使用)スティッチング法により軸対称非球面レンズ、及び高NAレンズの面精度計測を実現します。スティッチング法を用いて、高NAシリンドリカルレンズの面精度を広範囲に保証します。また、干渉計によるヌル計測が不可能な特殊形状においては、精密三次元プロファイラー(UA3P)により、50nm以下の精密な計測保証を行います。

三次元形状計測

三次元形状計測

500×500×500mmの測定範囲において、複雑形状を高精度に測定する事ができます。円錐レンズや円筒レンズなどの形状測定、研削面のならい測定により、干渉計では測定できない表面の状態を評価する事ができます。

偏芯・角度計測

偏芯・角度計測

精密コリメータを用いた偏芯測定器(Opticentric)により、レンズの光学偏芯精度を0.2μmで保証します。精密デジタルエンコーダステージを用いた精密角度測定器により、プリズムの角度精度を0.2秒で保証します。

透過波面計測

透過波面計測

レーザー干渉計(Verifire ATZ)を用いたダブルパス測定によって、透過波面精度を評価します。単レンズから複数レンズのユニット品まで計測可能です。また、計測データ補正計算により使用環境での波長に合わせた波面評価を行うことも可能です。

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