白色干渉計（NewView）を使用し、表面粗さ（□0.05mm）から表面うねり（□10mm）の 空間周期の形状精度を0.1nm精度で保証します。
白色干渉計（NewView 8300 : Zygo）
| 測定分解能：0.1nm 以下 | 測定サイズ：□0.05nm〜□10mm |
| 測定再現性：RMS 0.01nm 以下 |
高品位表面粗さ0.134nm（NewView）
その他のオプティクス
プリズム
1mm以下の極小プリズムから、複数のプリズムを接合した特殊異形状まで多様なプリズムに対応します。レーザー干渉計（VeriFire Asphere）や、高精度プリズム角度測定器（PrismMaster）を使用し、測定精度０.２秒の角度計測や面精度λ/30など高精度な品質を保証します。
ウィンドウ・ミラー
0.015mm極薄平面板やφ0.3 – 400mm以上のサイズまで多様な平面板に対応可能です。レーザー干渉計（VeriFire Asphere）や表面粗さ計（NewView）を使用し、高精度な品質を保証致します。高出力レーザー環境下での使用実績もあり、一部のミラーはコート後の面精度保証も可能です。