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表面粗さ計測

白色干渉計(NewView)を使用し、表面粗さ(□0.05mm)から表面うねり(□10mm)の 空間周期の形状精度を0.1nm精度で保証します。

白色干渉計(NewView 8300 : Zygo)

測定分解能:0.1nm 以下 測定サイズ:□0.05nm〜□10mm
測定再現性:RMS 0.01nm 以下  

高品位表面粗さ0.134nm(NewView)

 

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