白色干渉計（NewView）を使用し、表面粗さ（□0.05mm）から表面うねり（□10mm）の 空間周期の形状精度を0.1nm精度で保証します。
白色干渉計（NewView 8300 : Zygo）
| 測定分解能：0.1nm 以下 | 測定サイズ：□0.05nm〜□10mm |
| 測定再現性：RMS 0.01nm 以下 |
高品位表面粗さ0.134nm（NewView）
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