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面精度計測

レーザー干渉計にZygo社の6インチVFA(VeriFire Asphere)を使用し、λ/40を保証します。(平面:3面合せ法、球面:二球面法を使用)スティッチング法により軸対称非球面レンズ、及び高NAレンズの面精度計測を実現します。スティッチング法を用いて、高NAシリンドリカルレンズの面精度を広範囲に保証します。また、干渉計によるヌル計測が不可能な特殊形状においては、精密三次元プロファイラー(UA3P)により、50nm以下の精密な計測保証を行います。

VFA(VeriFire Asphere : Zygo)

計測原器:λ/20 以下 測定再現性:λ/300 以下
測定分解能:λ/8000 以下 測定サイズ:最大φ300mm

干渉計による非球面レンズ測定

sa-img02-jpg軸対称非球面レンズ精度 PV20nm≒λ/30(φ28mm)

 

UA3P-5(Panasonic)

測定分解能:1nm 測定精度:50nm(傾斜角度30°以下)
測定再現性:3σ < 10nm 測定サイズ:最大φ200mm

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