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プリズム

1mm以下の極小プリズムから、複数のプリズムを接合した特殊異形状まで多様なプリズムに対応します。レーザー干渉計(VeriFire Asphere)や、高精度プリズム角度測定器(PrismMaster)を使用し、測定精度0.2秒の角度計測や面精度λ/30など高精度な品質を保証します。

ダイクロイックプリズム(3)

ダイクロイックプリズムダイクロイックプリズム(2)ダイクロイックプリズム(1)

  高精度 標準精度 汎用精度
サイズ 0.3 – 100mm
材質 一般光学ガラス、合成石英、低熱膨張ガラス、Si、CaF₂
面精度 0.3 – 40mm:PVr≦λ/20
40 – 100mm:PVr≦λ/4
0.3 – 40mm:PV≦λ/4
40 – 100mm:PV≦λ
0.3 – 40mm:PV≦λ
40 – 100mm:PV≦2λ
表面粗さ < RMS 0.3nm < RMS 1nm < RMS 5nm
寸法公差 ±0.005mm ±0.1mm ±0.5mm
角度 ±5秒 ±1分 ±5分
外観精度(S/D) ISO10110-7/MIL-0-13830に対応可能
形状 TIRプリズム、ウェッジプリズム、コーナーキューブ、
ダイクロイックプリズム-フィリップスタイプ、ダイクロイックプリズム、ダハプリズム、
ダブプリズム、ペンタダハプリズム、ペンタプリズム、ポリゴンプリズム、ポロプリズム、
ロンボイドプリズム、四角ロッドインテグレータ、直角プリズム、分散プリズム、
六角ロッドインテグレータ
その他 穴あけ加工、球面加工、シリンドリカル面加工、各種接合、各種レンズ追加工

 

夏目光学のPBS(偏光ビームスプリッター)について

夏目光学のビームスプリッターは厳しいスペックの求められる 紫外域×高出力 のレーザー用途に適した高耐力かつ高品位の半導体製造装置をはじめとする産業装置の他、光通信、プロジェクターなどの画像系、レーザー干渉計などの測定装置にご利用いただいております。厳しいスペックの求められる 紫外域×高出力 のレーザー用途に適した高耐力かつ高品位のPBSを提供いたします。

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PBS(偏光ビームスプリッター)とは

ビームスプリッターは入射光を任意の分割比で2つに分岐(Split)させるための光学素子を指します。中でも偏光ビームスプリッター(Polarizing Beam SplitterPBSは入射光をS偏光とP偏光に分岐することを目的とし、半導体製造装置をはじめとする産業装置の他、光通信や、プロジェクターなどの画像系、レーザー干渉計などの測定装置に幅広く使用されます。

 

 

夏目光学レーザー特化PBSの特徴

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技術① オプティカルコンタクト 接合技術
オプティカルコンタクトとは

ガラス同士の分子間力作用により、接着剤を用いることなくガラスを結合する技術です。オプティカルコンタクトを発生させるためには分子レベルまで精密にガラスを研磨する必要があり、これには高い技術が求められます。

オプティカルコンタクトのメリット

・紫外/赤外域の透過性に優れる

・レーザー損傷閾値に優れる

・耐熱性、耐環境性に優れる

といった特徴があり、レーザー用途のオプティクスに適しています。

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接着剤接合タイプのPBSは使する接着剤自身の吸収によって400nm以下の透過率が低下してしまいます。オプティカルコンタクトタイプのPBSは接着剤を使用しないため透過率の低下を防ぐことができます。

 

 

 

 

 

技術② エキシマ深紫外用 光学素子 研磨技術

半導体露光装置をはじめとする深紫外用オプティクス(光学素子)の製造に長年にわたり携わってきた経験より、光学研磨技術という点においては絶対的な自信をもっています。面精度、面粗度を高水準で仕上げることは接合における密着強度の向上にもつながります。また母材に合成石英を使用することで紫外レーザー波長領域での透過率の低下(吸収)を抑えます。

表面粗さ(面粗度)を高い水準で仕上げる光学研磨

表面粗さ(面粗度)を高い水準で仕上げる光学研磨

① + ② = 夏目光学のPBS

 

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■紫外域PBS特性設計例

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■紫外域ハーフミラー設計例

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