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三次元形状計測

500×500×500mmの測定範囲において、複雑形状を高精度に測定する事ができます。円錐レンズや円筒レンズなどの形状測定、研削面のならい測定により、干渉計では測定できない表面の状態を評価する事ができます。

 

三次元計測器:Zeiss Micura

プローブ精度:0.8μm  測定サイズ:500×500mm
測定精度:0.7+L/400μm (L:測定距離mm)  

 

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