光の均質化(均一化) HOMOGENIZER    

レーザー光源による微細加工、アニール、マスク露光用途などで、強度分布がフラットな光(トップハット、フラットトップ)や均質性の高い光学系(ホモジナイザー)が必要になります。

均質照射面を得る為の、3種類の光学系をご紹介します。

①非球面レンズを使用した光学系

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非球面レンズを用いてレンズから特定の位置へ均質な照射面を作ることができます。
光源の特性と照射距離・範囲に応じた固有の形状となる完全なカスタム品となります。
シンプルな構造のため必要スペースは少なく済みます。
ガウシアン分布のレーザ平行光のようなシンプルな光源で高いパフォーマンスを発揮しますが、
大型ランプ・LED光源などには対応できません。

 

②ロッドインテグレータを使用した光学系

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ロッドレンズの内部で何度も反射させることで、レンズ出口で均質な分布が得られます。
得られる均質分布像は後に続くリレー光学系により任意の倍率に変えることができます。
ロッドレンズ内部での反射回数が多いほど(ロッドが長いほど)、より均質性の高い像が得られます。
光学系のサイズはやや大きくなりスペースが要求されます。

 

③フライアイレンズを使用した場合

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フライアイレンズには球面レンズからなるものと、シリンドリカルレンズからなるものがあります。
水銀ランプなど大型高出力の光源を均質化できます。
フライアイレンズの後方に集光用光学系(フーリエレンズ/ミラー)を配するため光学系は大型になります。

上記光学系の検討には以下の仕様が必要になります。
概略仕様:使用する光源、照射エリアサイズ、均質性(%)、投射距離(WD)、許容光学系サイズ
詳細仕様:目標照度(W/cm^2)、動作環境

 

如何でしたか?
ご希望の仕様・価格をご提示して頂ければ、最適な光学系を提案させて頂きます。
光の均質化(均一化)でお悩みのことがありましたら、是非ともご相談ください。

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