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ドラムレンズ

ドラムレンズ

ステッパーの照明系、ビームホモジナイザー等に使用します。

面積度、角度精度ともにグレードが高く、半導体製造装置やその他産業用検査装置等の非常に高精度を要求される分野で高い評価を得ています。

組立てた状態で納入を希望されるお客様は、束ねる方法や使用環境について別途お打ち合わせが必要です。

又、球面の反対面を平面及び球面以外の形状に加工することも可能ですのでご相談ください。

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