表面粗さ計測  SURFACE  ROUGHNESS

白色干渉計(NewView)を使用し、表面粗さ(□0.05mm)から表面うねり(□10mm)の 空間周期の形状精度を0.1nm精度で保証します。

白色干渉計(NewView 7300 : Zygo)

測定分解能:0.1nm 以下
測定再現性:RMS 0.01nm 以下

測定サイズ:□0.05nm〜□10mm

  • 白色干渉計
  • 高品位表面粗さイメージ
    高品位表面粗さ0.134nm(NewView)