面精度計測  SURFACE  ACCURACY

レーザー干渉計にZygo社の6インチVFA(VeriFire Asphere)を使用し、λ/40を保証します。(平面:3面合せ法、球面:二球面法を使用)スティッチング法により軸対称非球面レンズ、及び高NAレンズの面精度計測を実現します。CGHによる円筒波面とスティッチング法を用いて、高NAシリンドリカルレンズの面精度を広範囲に保証します。また、干渉計によるヌル計測が不可能な特殊形状においては、精密三次元プロファイラー(UA3P)により、50nm以下の精密な計測保証を行います。

VFA(VeriFire Asphere : Zygo)

計測原器:λ/20 以下
測定分解能:λ/8000 以下

測定再現性:λ/300 以下
測定サイズ:最大φ300mm

  • 干渉計による非球面レンズ測定イメージ
    干渉計による非球面レンズ測定
  • 軸対称非球面レンズ精度イメージ
    軸対称非球面レンズ精度 PV20nm≒λ/30(φ28mm)

UA3P-5(Panasonic)

測定分解能:1nm
測定再現性:3σ < 10nm

測定精度:50nm(傾斜角度30°以下)
測定サイズ:最大φ200mm

  • 精密三次元プロファイラーによる自由曲面レンズ測定イメージ
    精密三次元プロファイラーによる自由曲面レンズ測定
  • 自由曲面レンズにおける形状誤差イメージ
    自由曲面レンズにおける形状誤差