三次元形状計測  COORDINATE  MEASUREMENT

500×500×500mmの測定範囲において、複雑形状を高精度に測定する事ができます。円錐レンズや円筒レンズなどの形状測定、研削面のならい測定により、干渉計では測定できない表面の状態を評価する事ができます。

三次元計測器:Zeiss Micura

プローブ精度:0.8μm
測定精度:0.7+L/400μm (L:測定距離mm)

測定サイズ:500×500mm

三次元計測器:Zeiss Micuraイメージ01