自由曲面レンズ・自由曲面ミラー  FREEFORM

FREEDOM

軸外し非球面ミラーを代表に、非軸対称の表面形状や連続関数で定義された様々な光学素子を実現します。この光学素子により特殊波面が成形できます。超精密3次元プロファイラ(UA3P)と干渉計測定(VFA)により、自由曲面では今まで実現が難しかった、λ/10レベルの精度光学素子を提供します。

 

  超高精度 高精度 標準精度 汎用精度
サイズ 5 – 200mm
材質 一般光学ガラス、合成石英、低熱膨張ガラス、Si
形状タイプ 非球面シリンダー、トーリック、軸外し非球面、自由曲面、
部分回転楕円面、放物面、ゼルニケ多項式面、ウォルタータイプミラー
形状誤差 < PVr 30nm < PVr 100nm < PV 1,000nm
< PV 5,000nm
表面粗さ < RMS 0.2nm < RMS 0.5nm < RMS 1nm < RMS 4nm
直径公差 ±0.01mm ±0.1mm ±0.2mm ±0.5mm
肉厚公差 ±0.01mm ±0.1mm ±0.2mm ±0.5mm
外観精度(S/D) ISO10110-7/MIL-0-13830に対応可能
アプリケーション レーザ加工機
EUV光学素子
X線光学系
宇宙望遠鏡
レーザ加工機
UV光学系
レーザ加工機
可視光学系
HUD
レーザ加工機
赤外イメージング