フライアイレンズ  FLYEYE  LENS

FLYEYE

研削研磨によりレンズを一つずつ製作することにより、高効率・高耐久性・高NAのフライアイを提供します。均一強度の光を作り出す光学素子として半導体製造装置などに使用されています。片面のみならず両面に曲面加工が可能であり、使用用途に応じた設計、耐熱性、機密性に優れた接合にも対応できます。

 

  高精度 標準精度 汎用精度
サイズ 2 – 200mm
※サイズは目安です。別途お問い合わせ下さい。
材質 一般光学ガラス、合成石英、CaF₂
ピッチ精度
(レンズピッチ間)
±0.01mm ±0.03mm ±0.05mm
外観精度(S/D) ISO10110-7/MIL-0-13830に対応可能
アプリケーション 用途:紫外(UV) 〜 赤外(IR)域 半導体製造装置、検査装置照明、ビームコリメート、センサー等
その他 ハニカム、6角形状など特殊外形形状にも対応可能。

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