シリンドリカルレンズ  CYLINDRICAL  LENS

半導体露光装置、レーザー加工機、シネマスコープ等多彩な分野で数多く使われています。UV露光用高精度レンズからリーズナブルなビームコリメーション用レンズまでご希望に応じて対応します。シリンドリカル面+球面など1つの素子に複合した形状も対応可能です。

 

  レーザ用途 撮像用途
アプリケーション ホモジナイザー
均一照明光学系
均一ラインビーム
成形
ビームコリメーション
レーザ成形、
SAC
ラインビーム
成形
アナモルフィック光学系シネマスコープ用
レンズ名称 長尺・大型
シリンドリカルレンズ
小径
シリンドリカルレンズ
ロッドレンズ 丸型・異形
シリンドリカルレンズ
サイズ(mm) 1 – 450mm 最小径:0.4mm
最大長:200mm
1 – 150mm
材質 一般光学ガラス、合成石英、低熱膨張ガラス、Si、CaF₂
曲率半径範囲 凹(Cc):1.4 – 10,000mm
凸(Cx):0.3 – 10,000mm
凹(Cc)
1.4 – 10,000mm

凸(Cx)
0.3 – 10,000mm
曲率半径公差 < 0.5% < 0.5% < 0.5% 直径公差
±0.01mm
< 0.1mm
面精度 標準(断面解析)
50mm以下:PV≦λ/2  50 – 100mm:PV≦λ  100 – 150mm:PV≦2λ
高精度(全面解析)

100mm以下:PVr≦λ/10  100 – 150mm:PVr≦λ/4
表面粗さ < RMS 1nm < RMS 1nm < RMS 5nm < RMS 5nm < RMS 1.5nm
偏芯(母線ズレ量) 標準:±0.05mm
高精度:±0.01mm
±0.01mm
外観精度(S/D) ISO10110-7/MIL-0-13830に対応可能
その他 精密平面研削版により、シャープエッジ加工可能
(チッピング20μ以下)
スティッチング計測により、大口径レンズの全面面精度解析及び、高精度修正加工が可能 試作1個から量産まで対応可能 試作1個から量産まで対応可能 精密偏芯接合による、ダブレット・トリプレット対応可能

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