アキシコンレンズ・円錐ミラー  AXICON  LENS

Axicon-i

アキシコンレンズは、リングビームやベッセルビームを形成し、ファイバーレーザー加工機、短パルス微細レーザー加工機などに利用されます。円錐面に反射コートを蒸着した円錐ミラーは円筒内部検査装置などに利用されます。片面のみならず両面に円錐面加工されたメニスカスアキシコンレンズ、リングビームエキスパンダーに用いられる凹面アキシコンレンズにも対応します。

 

  高精度 標準精度
サイズ φ50 – 150mm φ10 – 50mm φ30 – 175mm φ2 – 30mm
標準仕様 凹θ:60 – 179.9°、凸θ:30 – 179.9°
材質 一般光学ガラス、合成石英、低熱膨張ガラス、CaF₂
角度精度 ±5秒 ±3分
形状誤差 < PVr λ/4 PVr 5λ
表面粗さ RMS < 1nm
肉厚 ±0.005mm ±0.01mm
外観精度(S/D) ISO10110-7/MIL-0-13830に対応可能
アプリケーション レーザ加工機
ベッセルビーム光学系
偏光素子
リングビームエキスパンダー
円錐ミラー
コーンサイドビュアー
露光装置(照明系)
リングビーム照明
リングビームエキスパンダー
その他 凸面:頂点φ1mmまで形状形成可能 凸面:表面粗さRMS<0.3nm可能